產品介紹：SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計量的方法設計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規測厚采用寬帶光源不同，可調諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測量的動態范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測量，例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。產品特點：l 全光學，非接觸式晶圓厚度傳感l 高動態范圍，可測量不規則表面l 支持
產品介紹：
SIT-200 硅晶圓檢測儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計量的方法設計制造的用于硅晶圓厚度檢測的干涉儀。與常規測厚采用寬帶光源不同，可調諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測量的動態范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測量，例如在濕刻過程中以及濕刻之后的晶圓。
產品特點：
l 全光學，非接觸式晶圓厚度傳感
l 高動態范圍，可測量不規則表面
l 支持濕刻制程中實時測量
l 高靈敏度、高準確度、高速度
l 遠程控制
產品參數：
測樣品 | 硅晶圓 | |
可測厚度范圍 | 10 - 500 (n=3.5) | m |
精密可調諧激光 | 1515 - 1585 | nm |
光功率 | 0.6 | mW |
指引光 | 紅色，Class 1M | |
測量時間 | 最短 20 | ms |
可重復性 | <0.1 (3-σ) | m |
監控輸出 | 干涉信號輸出 | |
PC 界面 | Ethernet |
精密掃頻激光光源以高速度調諧激光波長。樣品前、后表面反射的激光的干涉信號經過PD 探測后，根據波長- 干涉信號強度的關系即可得到晶圓厚度。
