詳細(xì)信息

nSCULPTOR是用于納米結(jié)構(gòu)加工的3D激光光刻系統(tǒng)，基于多光子聚合（mPP）技術(shù)，適用于市場上常見光阻材料。可以加工和生產(chǎn)納米精度和分辨率的三維結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)可以有效配套市場上常見的光刻膠，實(shí)現(xiàn)納米精度和分辨率的模型制作以及各種三維立體結(jié)構(gòu)加工。系統(tǒng)將整個(gè)加工過程整合到一起，包括3D模型的創(chuàng)建和制備，激光直寫，后期處理。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·   一體化解決方案

·   100nm-10um分辨率

·   復(fù)雜3D物體

·   不同的聚合物

·   占地面積小

產(chǎn)品應(yīng)用：

·   納米光子器件（3D光子晶體）

·   微流控

·   微光學(xué)器件（透鏡，光纖結(jié)構(gòu)）

·   微型機(jī)械

·   微型光機(jī)電系統(tǒng)（MOEMS）

·   生物醫(yī)學(xué)

多光子聚合3D納米光刻機(jī)是一套基于多光子聚合(mPP)技術(shù)專業(yè)為制備微納結(jié)構(gòu)而設(shè)計(jì)的3D激光光刻系統(tǒng)。系統(tǒng)可以有效配套市場上常見的光刻膠，實(shí)現(xiàn)納米精度和分辨率的模型制作以及各種三維立體結(jié)構(gòu)加工。

所有的加工過程都被集成到到同一系統(tǒng)中：3D模型準(zhǔn)備，激光直寫，后期處理

3D模型準(zhǔn)備

SCA激光微加工軟件控制系統(tǒng)運(yùn)行并且可以準(zhǔn)備簡單地3D模型。

此外 ，也可以使用設(shè)計(jì)軟件（例如Autodesk AutoCAD）設(shè)計(jì)3D模型，然后導(dǎo)入到SCA中，SCA支持*.stl, *.dxf格式的3D模型設(shè)計(jì)文件。最后將將模型文件導(dǎo)入到SCA上，準(zhǔn)備進(jìn)行 3D激光光刻。

激光直寫

激光直寫是由飛秒激光光源，精確3軸定位和掃描振鏡操作執(zhí)行3D聚合過程。

首先，待刻模型通過精密定位激光聚焦系統(tǒng)直接從CAD設(shè)計(jì)中導(dǎo)入到光刻膠中。聚合物的雙光子或多光子吸收用于形成高質(zhì)量表面的3D結(jié)構(gòu)。<100 nm的尺寸可自成形結(jié)構(gòu)， 200nm到10μm尺寸可以控制和重復(fù)。納米級分辨率和各式各樣的基于這種技術(shù)的聚合物延伸應(yīng)用（微光學(xué)元件，支架，微流體，微光機(jī)電系統(tǒng)，功能表面等等）。在按照CAD設(shè)計(jì)塑造出3D構(gòu)造后，使用有機(jī)溶劑將剩下的未固結(jié)的光刻膠沖洗掉，底物上留下最新制備的微觀結(jié)構(gòu)。

后期處理

將制備出的模型按序浸沒在數(shù)種不同的溶劑以去除塑形后剩余的液體聚合物。所有過程全自動運(yùn)行，并且運(yùn)行參數(shù)(浸沒時(shí)間，溫度，等等)可以按照要求進(jìn)行設(shè)置。另外，針對特殊的物件除上述處理外還可以用紫外燈或臨界點(diǎn)烘干機(jī)進(jìn)行處理。