詳細信息

nSCULPTOR是用于納米結構加工的3D激光光刻系統，基于多光子聚合（mPP）技術，適用于市場上常見光阻材料。可以加工和生產納米精度和分辨率的三維結構。系統可以有效配套市場上常見的光刻膠，實現納米精度和分辨率的模型制作以及各種三維立體結構加工。系統將整個加工過程整合到一起，包括3D模型的創建和制備，激光直寫，后期處理。

產品特點：

·   一體化解決方案

·   100nm-10um分辨率

·   復雜3D物體

·   不同的聚合物

·   占地面積小

產品應用：

·   納米光子器件（3D光子晶體）

·   微流控

·   微光學器件（透鏡，光纖結構）

·   微型機械

·   微型光機電系統（MOEMS）

·   生物醫學

多光子聚合3D納米光刻機是一套基于多光子聚合(mPP)技術專業為制備微納結構而設計的3D激光光刻系統。系統可以有效配套市場上常見的光刻膠，實現納米精度和分辨率的模型制作以及各種三維立體結構加工。

所有的加工過程都被集成到到同一系統中：3D模型準備，激光直寫，后期處理

3D模型準備

SCA激光微加工軟件控制系統運行并且可以準備簡單地3D模型。

此外 ，也可以使用設計軟件（例如Autodesk AutoCAD）設計3D模型，然后導入到SCA中，SCA支持*.stl, *.dxf格式的3D模型設計文件。最后將將模型文件導入到SCA上，準備進行 3D激光光刻。

激光直寫

激光直寫是由飛秒激光光源，精確3軸定位和掃描振鏡操作執行3D聚合過程。

首先，待刻模型通過精密定位激光聚焦系統直接從CAD設計中導入到光刻膠中。聚合物的雙光子或多光子吸收用于形成高質量表面的3D結構。<100 nm的尺寸可自成形結構， 200nm到10μm尺寸可以控制和重復。納米級分辨率和各式各樣的基于這種技術的聚合物延伸應用（微光學元件，支架，微流體，微光機電系統，功能表面等等）。在按照CAD設計塑造出3D構造后，使用有機溶劑將剩下的未固結的光刻膠沖洗掉，底物上留下最新制備的微觀結構。

后期處理

將制備出的模型按序浸沒在數種不同的溶劑以去除塑形后剩余的液體聚合物。所有過程全自動運行，并且運行參數(浸沒時間，溫度，等等)可以按照要求進行設置。另外，針對特殊的物件除上述處理外還可以用紫外燈或臨界點烘干機進行處理。